紫外臭氧清洗機是一款用于無機基材(比如：石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等)表面有機污染物去除的表面清洗設備。
其工作原理是利用紫外線和臭氧的機理來清洗、除臭、消毒、殺菌。通過紫外線產生光解反應，產生的自由基和臭氧分子可以分解有機污染物，同時紫外線殺菌也能夠殺死空氣中的細菌和病毒。
加強日常紫外臭氧清洗機的維護可以有效預防故障的發生，延長設備的使用壽命。日常維護事項如下：
1、定期更換紫外燈管：建議每12個月或根據設備使用說明書中的建議時間進行更換。
2、定期清洗設備：保持電極的純度和一定的濕度。
3、清洗器表面保持清潔：定期清潔設備外殼和過濾器等組件的表面，防止灰塵和雜物影響機器的工作效果。
4、避免短時間內反復開關機：長時間的使用和開機能夠提高紫外燈的壽命，但短時間內反復開關機只會加速燈管的老化。
5、保持適宜的工作環境：保持清洗機的工作環境在20~40℃之間，濕度控制在80%以下。
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